回收多晶硅铸锭炉+南京栖霞真空泵回收的电话
发布:2024/5/3 8:02:06 来源:shxj365单晶炉,长晶炉,多晶硅炉,半封闭母线槽,插接式母线槽,水冷空调、制冷设备,冷凝器、电容柜,电线电缆,配电箱、电梯、空压机、高压关、互感器、UBS电瓶、电动机、压缩机、机械设备、厨房设备、酒店设备、公设备、电抗器、稳压器、高压柜、低压柜、启动柜,发电机组, 生产线,活动房,配电柜,收购器,冷凝器,叉车, 行车,厂区行车,集装箱等等
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通气管19从排气口 13排出。本实施例的气流导向装置20可有效减小炉内空间(尤其是坩埚支持器 14下方的空间),便于排气,且利于减少热能和氩气的消耗量,另外,由于 该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通,整个炉内的 一氧化硅与氩气的混合气体(包括坩埚支持器14下方的混合气体)能通畅 地排出炉外,整个炉内不存在排气死角。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,因此系统结构简单,具有用电省, 发热小的特点。系统可靠性很高,不会死机。同时触摸屏和PLC间工作,连接仅仅使用1根通讯线即可。(2) 控制软件,系统能按照工艺员写入的工艺文件,进行半自动拉晶,可以在显示器上修改,立即生效,作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加率限制,信号故障判断诊断能,可以排除观察孔污染,信号扰,加热电源故障,加热器短路,加热器电阻突变。工业彩色触摸屏电气特点(1)本系统采用PLC人工输入失误等错误。(3) 工作站系统。
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