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技术实现要素:坩埚提升机构的垂直方向采用了滚珠直线导轨和高精度丝杆,在高负载甚电机断电的情况下实现自锁。坩埚旋转采用可承受高转矩的多碶带驱动,从而了齿形带传动的震颤。旋转密封采用可承受轴向力磁流体密封,垂直密封采用不锈钢波纹管。 坩埚提升机构中直线导轨座和底板成90°固定,两者间采用筋板支撑,从而提高整体的刚度,避免由侧向力矩引起的直线导轨和丝杆的变形。