旧单晶硅炉宜兴涡轮分子泵物流/提货派送以石墨电阻加热器，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池，集成电路所需要的高品质硅单晶。单晶炉主机系统包括：底座立柱，坩埚驱动装置，主炉室，翻板阀室，副炉室，籽晶提升与旋转机构，液压驱动装置，真空系统，充气系统及水冷系统。炉室结构为顶升式，主炉室和副炉室启时由液压传动装置实现上移。炉室和副炉室之间。TD-800型软轴提拉型单晶炉设有浮动式翻板阀室。是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中可在现场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。对于高可靠性指标，美国的关电源生产商通过降低运行电流，降低结温等措施以减少器件的应力，使得产品的可靠性大大提高。模块化是关电源发展的总体趋势，可以采用模块化电源组成分布式电源系统，可以设计成N1冗余电源系统，并实现并联方式的容量扩展。针对关电源运行噪声大这一缺点，若单独追求高频化其噪声也必将随着增大.。
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利用电脑计算的详尽，用以支持真正的（且昂贵）实验。由于数值模拟了一个近似真实的过程，利用这一技术可以很容易的对任何类型的变化（几何尺寸，保温材料，加热器，环境等）对晶体质量的影响出容易的判断。数值是用来获得廉价的，完整的和细节的结晶过程，以此方法用来预测晶体生长，改善晶体生长技术。举例来说，对于无经验人员，可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。该气流导向装置为碗形，其包括 设于气流导向装置底部的中轴孔，设于所述中轴孔两侧的 一对电极孔， 以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔，该炉的石墨中 轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，该炉的 一对电极柱分别穿过所述电极 孔，该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上 端部设于该炉的保温筒与发热体之间。所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接。
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硅中易挥发的杂质元素；定向凝固由于其单向散热的特点, 能够得到连续生长的柱状晶凝固组织。本研究以低成本工业硅制得高纯多晶硅锭为目的，自行研制了一台将真空感应熔炼技术与定向凝固技术相结合的试验装置，并在此基础上进行了工业硅的真空感应熔炼及定向凝固试验，利用金相显微镜和电感耦合等离子体发射光谱仪对样品进行了分析。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，99%以上的集成电路是硅集成电路 ，生产集成电路所需要的单晶硅 ，是在硅结晶生长始时 ，用提拉的法制成的。在单晶硅生产过程中 ，对晶体的提拉速度有十分严格的要求 ，从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。当今 95%以上的半导体器件是用硅材料的 单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料 图 1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器 线性精度大于± 2 %。
