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现有的单晶炉主要是针对观察窗的,观察窗的结构,增加观察窗的数量等,但对造成观察窗不清晰的挥发物涉猎甚少。颇有些治标不治本的意味。
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单晶炉二次增料时的原料形状一般分为块状硅料、粉末状硅料和棒状硅料。粉末状硅料可以利用专用设备成块状,棒状硅料经过水机后形成块状硅料。因此.块状硅料的二次增料装置可以实现三种不同形状硅料往单晶炉内的添加,大多数企业采用块状硅料二次增料装置来实现单晶炉生产效率的提高, 图1为某块状硅料的单晶炉二次增料装置结构示意图。金属结构件通常采用钢板而成,表面方式有:电镀锌,喷塑,镀锌钢板,敷铝锌钣等,可根据实际要求选用。